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明年6吋MOCVD需求将增

编辑:常州托维环境亮化工程有限公司  字号:
摘要:明年6吋MOCVD需求将增
明年6吋有机化学气相沉积(MOCVD)机台量将大幅增长。发光二极体(LED)价格自2011年始走跌,上游LED磊晶厂除藉由缩减资本支出(CAPEX)力挽利润与营收下滑颓势外,亦已逐步调高6吋MOCVD机台采用比重,进一步降低制造成本、强化价格竞争力。

Laytec业务总经理Tom Thieme表示,现地量测将有助于调高LED磊晶良率,借此有效降低LED磊晶的制造成本。

Laytec业务总经理Tom Thieme表示,今年上游LED磊晶供应商添购MOCVD机台的数量明显下滑,且4吋MOCVD机台不再是市场主流,反之6吋MOCVD机台的采购比例明显攀升,显见LED磊晶厂已面临极大的成本压力,因此加紧购入大尺寸MOCVD机台,以提高毛利率和营收贡献。

看好6吋MOCVD机台需求看涨,爱思强(Aixtron)、威科(Veeco)等MOCVD设备商早已展开6吋产品线部署;另一方面,MOCVD光学量测厂商如Laytec等,亦快马加鞭布局先进的现地量测(In-Situ Metrology)技术,以提高LED磊晶厂的生产良率,达成调降制造成本的目的。

Thieme指出,2013年6吋MOCVD机台的市场渗透率将会急速扩大,对于量测MOCVD反应炉内晶圆温度的高温计(Pyrometer)仪器,Laytec已开发出安装到反应炉中的现地量测仪器,可以确保晶圆的平整度(Flatness),以提高良率。

Thieme进一步透露,目前Laytec针对6吋MOCVD机台开发的现地量测仪器,让LED波长的一致性可达±3奈米(nm),该公司计画至2015年达±1奈米的目标,可望助力LED磊晶厂加快提升良率,以缩减成本。
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